[发明专利]一种离子束流调节装置

摘要

本发明主要属于离子束流调节装置技术领域，具体涉及一种离子束流调节装置。包括铁芯、极头、第一线圈和第二线圈，所述铁芯包括上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块，所述上铁芯块和所述下铁芯块的前后两端分别通过前铁芯块和后铁芯块连接，所述上铁芯块、所述下铁芯块、所述前铁芯块和所述后铁芯块的内侧面共同界定形成贯通孔；所述离子束流调节装置还包括依次堆叠套设在所述前铁芯块上的第三线圈和依次堆叠套设在所述后铁芯块上的第四线圈。本发明所述离子束流调节装置不仅能够使束流通过时带状束流的截面形状保持直线形状，而且能够调节束流在高度方向上的均匀性，以满足束流传输和注入的要求。

主权项

1.一种离子束流调节装置，其特征在于，所述离子束流调节装置通过调节线圈的电流大小和方向，能够使束流通过时带状束流的截面形状保持直线形状，而且能够调节束流在高度方向上的均匀性；所述离子束流调节装置包括铁芯、极头、第一线圈和第二线圈，所述铁芯包括上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块，所述极头包括上极头和下极头，所述上铁芯块和所述下铁芯块的前后两端分别通过前铁芯块和后铁芯块连接，所述上极头和所述下极头分别贴合设于所述上铁芯块和所述下铁芯块上；所述上铁芯块、所述下铁芯块、所述前铁芯块和所述后铁芯块的内侧面共同界定形成贯通孔；所述第一线圈嵌入所述上铁芯块的内侧面，所述第二线圈嵌入所述下铁芯块的内侧面，所述离子束流调节装置还包括至少两个第三线圈以及至少两个第四线圈，所述第三线圈依次堆叠套设在所述前铁芯块上，所述第四线圈依次堆叠套设在所述后铁芯块上；所述第三线圈和第四线圈的电流大小和方向能够调节，通过调节所述第三线圈和第四线圈的电流大小和方向，能够修正所述上极头和所述下极头之间的磁场使其成为均匀的线性磁场，从而使束流通过时带状束流的截面形状始终保持直线；并且，通过调节所述第三线圈和第四线圈的电流大小和方向，能够调整束流在高度方向上的均匀性；所述上铁芯块和所述下铁芯块平行，所述第三线圈和所述第四线圈的数量均为2‑50个，每个所述第三线圈和所述第四线圈的高度均相同。