[发明专利]石墨坩埚及其制造方法有效
| 申请号： | 201710406654.8 | 申请日： | 2017-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN108997019B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 王燕 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/80 | 分类号： | C04B35/80;C04B35/532;C04B35/622;D01F6/76;D01F9/10;D04H1/4209;D04H1/46;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石墨坩埚及其制造方法，包括：1）提供一坩埚模具；2）提供全氢聚硅氮烷纤维，开松处理后进行交叉铺网及针刺固结制作出全氢聚硅氮烷纤维毡，氨气热解及烧结后获得氮化硅纤维毡；3）于所述坩埚模具内涂覆含石墨原料的粘结剂，将所述氮化硅纤维毡铺盖于所述粘结剂上；4）重复进行步骤3）；5）固化后进行模具分离获得坩埚模板；6）进行碳化及石墨化处理，获得石墨坩埚。本发明通过干法纺丝及针刺固结制备出连续的氮化硅纤维毡，具有膨胀系数低、导热性好、机械性能优越等优点；通过在石墨坩埚壁中设置连续的氮化硅纤维毡，可以大大降低石墨坩埚由于热膨胀及冷却过程中的变形程度，避免石墨坩埚裂纹的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石墨坩埚的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：1)提供一坩埚模具；2)提供全氢聚硅氮烷纤维，对所述全氢聚硅氮烷纤维开松处理后进行交叉铺网，并通过针刺固结工艺制作出全氢聚硅氮烷纤维毡，所述全氢聚硅氮烷纤维毡经过氨气热解及烧结后获得氮化硅纤维毡；3)于所述坩埚模具内涂覆含石墨原料的粘结剂，将所述氮化硅纤维毡铺盖于所述粘结剂上；4)重复进行步骤3)，重复次数为N，其中，N>0；5)对所述粘结剂进行固化处理后，进行模具分离获得坩埚模板；6)对所述坩埚模板进行碳化及石墨化处理，获得石墨坩埚。
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