[发明专利]蒸镀坩埚热场控制装置及蒸镀系统在审
| 申请号： | 201710375010.7 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106987810A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 宋建华 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀坩埚热场控制装置，其包括：蒸镀坩埚、加热装置；若干温度检测单元，用于检测所述蒸镀坩埚上若干检测点的温度；若干反射板，设置于所述蒸镀坩埚的外围，且用于向蒸镀坩埚反射热量；以及控制单元，基于若干所述温度检测单元所检测的温度，控制若干所述反射板移动以调整每个所述反射板与所述蒸镀坩埚之间的间距。上述蒸镀坩埚热场控制装置，控制单元根据各检测点的实测温度，分别独立控制各个反射板，使蒸镀坩埚温度高的区域附近的反射板远离蒸镀坩埚，温度低的区域附近的反射板靠近蒸镀坩埚，从而使整个热场更加均一，从而蒸镀源受热一致，最终形成的膜层厚度一致。本发明还提供了一种蒸镀系统。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 控制 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种蒸镀坩埚热场控制装置，其特征在于，包括：蒸镀坩埚；加热装置，用于对所述蒸镀坩埚加热；若干温度检测单元，用于检测所述蒸镀坩埚上若干检测点的温度；若干反射板，设置于所述蒸镀坩埚的外围，且用于向蒸镀坩埚反射热量；以及控制单元，基于若干所述温度检测单元所检测的温度，控制若干所述反射板移动以调整每个所述反射板与所述蒸镀坩埚之间的间距。
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