[发明专利]一种微波等离子体炬的屏蔽装置

摘要

一种微波等离子体炬的屏蔽装置，包括炬管和屏蔽罩；炬管包括外管和中管；屏蔽罩包括屏蔽管、渐变管和密封板；屏蔽管为中空管，屏蔽管的内径稍大于中管的外径，渐变管呈下大上小的渐缩状，渐变管上端与屏蔽管下端连接，渐变管下端外径与外管内径相等；密封板呈中空状，套接于屏蔽管和渐变管的连接处；渐变管套设于中管，且下端与外管的内壁相切，密封板与外管的密封连接，屏蔽管与中管同轴。渐变管强化了氧屏蔽气切向螺旋上升的运动模式，屏蔽管增加了氧气的线速度，降低周围环境气体对等离子体干扰的几率，强化的气体箍缩作用增强了等离子体的稳定性。

主权项

1.一种微波等离子体炬的屏蔽装置，包括用于形成等离子体的炬管和用于屏蔽环境气体的屏蔽罩；所述炬管包括外管和中管；其特征在于，所述屏蔽罩包括屏蔽管、渐变管和密封板；所述屏蔽管为中空管，所述屏蔽管的内径稍大于所述中管的外径，所述渐变管呈下大上小的渐缩状，所述渐变管上端与所述屏蔽管下端连接，所述渐变管下端外径与所述外管内径相等；所述密封板呈中空状，套接于所述屏蔽管和渐变管的连接处；所述渐变管套设于所述中管，且下端与所述外管的内壁相切，所述密封板与所述外管密封连接，所述屏蔽管与所述中管同轴。