[发明专利]一种OLED微型显示器及其阳极键合方法

摘要

本发明涉及一种OLED微型显示器及其阳极键合方法，所述OLED微型显示器的阳极键合方法包括以下步骤：S1、在绝缘基板上制备凹槽；S2、以铜填埋所述凹槽后，制备铜连接柱；S3、在所述绝缘基板上制备OLED器件，得到预制OLED发光单元；S4、将所述预制OLED发光单元上的铜连接柱与IC片的正面键合，完成OLED微型显示器的阳极键合。本发明通过预制OLED发光单元，再将预制的OLED发光单元与IC片键合，从而避免出现因阳极像素和OLED发光单元在制备过程中形成的缺陷导致昂贵的IC片报废的问题，提高了IC片的利用率，降低了生产成本。

主权项

1.一种OLED微型显示器的阳极键合方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、在绝缘基板上制备凹槽；S2、以铜填埋所述凹槽后，制备铜连接柱；所述步骤S2包括：S21、采用电镀法对所述凹槽进行铜填埋；S22、对所述绝缘基板的正面和背面分别进行CMP工艺，直至所述绝缘基板的正面和背面露出所述铜连接柱；S3、在所述绝缘基板上制备OLED器件，得到预制OLED发光单元；所述步骤S3包括：S31、在所述绝缘基板的正面对应所述铜连接柱制备阳极电极层；S32、在所述绝缘基板的正面依次制备OLED层、阴极电极层和密封层，得到所述预制OLED发光单元；S4、将所述预制OLED发光单元上的铜连接柱与IC片的正面键合，完成OLED微型显示器的阳极键合。