[发明专利]一种OLED微型显示器及其阳极键合方法有效
申请号: | 201710365150.6 | 申请日: | 2017-05-22 |
公开(公告)号: | CN107195801B | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 茆胜 | 申请(专利权)人: | 茆胜 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人: | 郭方伟;冯小梅 |
地址: | 广东省深圳市福田区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 oled 微型 显示器 及其 阳极 方法 | ||
1.一种OLED微型显示器的阳极键合方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、在绝缘基板上制备凹槽;
S2、以铜填埋所述凹槽后,制备铜连接柱;所述步骤S2包括:
S21、采用电镀法对所述凹槽进行铜填埋;
S22、对所述绝缘基板的正面和背面分别进行CMP工艺,直至所述绝缘基板的正面和背面露出所述铜连接柱;
S3、在所述绝缘基板上制备OLED器件,得到预制OLED发光单元;所述步骤S3包括:
S31、在所述绝缘基板的正面对应所述铜连接柱制备阳极电极层;
S32、在所述绝缘基板的正面依次制备OLED层、阴极电极层和密封层,得到所述预制OLED发光单元;
S4、将所述预制OLED发光单元上的铜连接柱与IC片的正面键合,完成OLED微型显示器的阳极键合。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤S1包括:
S11、在所述绝缘基板上制备与所述凹槽对应的图形;
S12、在所述绝缘基板上根据所述图形刻蚀出所述凹槽。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在所述步骤S12中,采用TSV工艺在所述绝缘基板上根据所述图形刻蚀出所述凹槽。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在所述步骤S11中,采用光刻法在所述绝缘基板上制备与所述凹槽对应的光胶图形,所述光胶图形由光刻胶形成;
在所述步骤S12中,采用TSV工艺在所述绝缘基板上根据所述光胶图形刻蚀出所述凹槽。
5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在执行所述步骤S2前,还包括以下步骤:将所述绝缘基板上的所述图形除去。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤S4包括:
将所述绝缘基板背面的铜连接柱与所述IC片的正面键合,完成OLED微型显示器的阳极键合。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤S3之后,所述步骤S4之前,还包括:
对所述预制OLED发光单元进行老化测试、光学测试和电学测试后,挑选合格品进入所述步骤S4。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于茆胜,未经茆胜许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710365150.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择