[发明专利]用于静电卡盘粘合剂的永久性二次侵蚀约束

摘要

本发明提供了用于静电卡盘粘合剂的永久性二次侵蚀约束。衬底处理系统中的衬底支撑件包括基板、陶瓷层和粘合层。陶瓷层布置在基板上以支撑衬底。粘合层布置在陶瓷层和基板之间。密封件围绕所述粘合层的外周布置在陶瓷层和基板之间。所述密封件包括：内层，其形成在所述粘合层相邻处；和外层，其形成在所述内层相邻处使得所述内层在所述外层和所述粘合层之间。内层包括第一材料，外层包括第二材料。

主权项

一种衬底处理系统中的衬底支撑件，所述衬底支撑件包括：基板，布置在所述基板上的陶瓷层，所述陶瓷层被布置成支撑衬底；布置在所述陶瓷层和所述基板之间的粘合层；以及围绕所述粘合层的外周布置在所述陶瓷层和所述基板之间的密封件，其中所述密封件包括：内层，其形成在所述粘合层相邻处，其中所述内层包括第一材料，以及外层，其形成在所述内层相邻处使得所述内层在所述外层和所述粘合层之间，其中所述外层包括第二材料。