[发明专利]射频发生器干净干燥空气吹净在审
| 申请号： | 201710347524.1 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN108939834A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 袁德宝 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B01D53/26 | 分类号： | B01D53/26;B01D53/30;G05D27/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开的实施方式总体涉及射频发生器保护，包括：射频发生器保护组件、用于控制射频发生器的周围环境的方法、以及具有射频发生器的半导体器件。在一个实施方式中，射频发生器保护组件包括控制器和干净干燥空气干燥器，控制器被配置为评估射频发生器的局部周围环境，干净干燥空气干燥器耦接到控制器并且受到控制器控制以提供干净干燥空气来调节射频发生器的局部周围环境。 | ||
| 搜索关键词： | 射频发生器 干燥空气 控制器 保护组件 干燥器 半导体器件 控制器控制 吹净 配置 评估 | ||
【主权项】：
1.一种射频发生器(RFG)保护组件，所述RFG保护组件包括：控制器，所述控制器被配置为评估RFG的局部周围环境；以及干净干燥空气(CDA)干燥器，所述CDA干燥器耦接到所述控制器并受到所述控制器控制以提供CDA来调节所述RFG的所述局部周围环境。
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