[发明专利]射频发生器干净干燥空气吹净

权利要求书

1.一种射频发生器(RFG)保护组件，所述RFG保护组件包括：

控制器，所述控制器被配置为评估RFG的局部周围环境；以及

干净干燥空气(CDA)干燥器，所述CDA干燥器耦接到所述控制器并受到所述控制器控制以提供CDA来调节所述RFG的所述局部周围环境。

2.根据权利要求1所述的RFG保护组件，其进一步包括：

传感器，所述传感器耦接到所述控制器并且被配置为感测所述局部周围环境和将环境信号传送到所述控制器。

3.根据权利要求2所述的RFG保护组件，其中传送到所述控制器的所述环境信号包括温度相关参数、湿度相关参数、或这两者。

4.根据权利要求3所述的RFG保护组件，其中根据启发式算法将所述参数与存储在所述控制器中的预定值进行比较，以便控制所述CDA干燥器。

5.根据权利要求4所述的RFG保护组件，其中所述启发式算法包括可靠且有效的测试。

6.根据权利要求4所述的RFG保护组件，其中存储在所述控制器中的所述预定值包括可操作用于所述RFG的所述参数的下限和上限。

7.根据权利要求3所述的RFG保护组件，其中所述CDA干燥器通过基于所述参数来启用或停用所述CDA干燥器而由所述控制器控制。

8.根据权利要求1所述的RFG保护组件，其中所述CDA干燥器包括：

CDA源，所述CDA源被配置为供应所述CDA；以及

阀，所述阀连接到所述CDA源并且被配置为从所述CDA源引导所述CDA。

9.根据权利要求8所述的RFG保护组件，其中将来自所述CDA源的干燥空气引导向所述RFG的进气口。

10.根据权利要求8所述的RFG保护组件，其中通过启用所述CDA干燥器的所述阀，来调节所述RFG的所述局部周围环境。

11.一种用于控制射频发生器(RFG)的周围环境的方法，所述方法包括：

通过传感器来感测RFG的局部周围环境；

通过控制器从所述传感器接收所述局部周围环境的信号；及

基于所述接收到的信号来提供干净干燥空气(CDA)以调节所述RFG的所述局部周围环境。

12.根据权利要求11所述的方法，其进一步包括：基于所述接收到的信号来关闭所述RFG。

13.根据权利要求11所述的方法，其中所述局部周围环境的所述信号包括温度相关参数、湿度相关参数、或这两者。

14.根据权利要求13所述的方法，其中基于所述接收到的信号来提供所述CDA以调节所述局部周围环境包括：

根据启发式算法通过所述控制器将所述接收到的信号与预定值进行比较，以及

根据比较结果将所述CDA供应到所述RFG。

15.根据权利要求13所述的方法，其中基于所述接收到的信号来提供所述CDA以调节所述局部周围环境包括：启用或停用连接到CDA源的CDA干燥器。

16.根据权利要求11所述的方法，其中基于所述接收到的信号来提供所述CDA以调节所述局部周围环境包括：

从CDA源供应所述CDA；以及

将所述被供应的CDA引导向所述RFG的进气口。

17.根据权利要求16所述的方法，其中通过调整阀来进行将所述被供应的CDA引导向所述RFG的所述进气口。