[发明专利]压电致动器和压电致动板有效
申请号: | 201710333246.4 | 申请日: | 2017-05-12 |
公开(公告)号: | CN108880320B | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 廖鸿信;陈世昌;廖家淯;韩永隆;李伟铭 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | H02N2/02 | 分类号: | H02N2/02;F04B43/04 |
代理公司: | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 喻学兵 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种压电致动器和压电致动板,其中的压电致动器适用于一微型流体传输装置,包含:悬浮板、外框、至少一支架,悬浮板具有第一厚度,外框环绕于悬浮板周边且具有第三厚度,至少一支架连接于悬浮板与外框之间并具有第四厚度,其中,第三厚度大于第一厚度,第一厚度大于第四厚度,透过悬浮板、外框及支架蚀刻制成构成不同阶梯结构,以减少其支架的厚度,增加支架的弹性,使悬浮板垂直的位移量增加,进而提升微型流体传输装置的效率。 | ||
搜索关键词: | 悬浮板 外框 支架 压电致动器 传输装置 微型流体 蚀刻 阶梯结构 支架连接 垂直的 位移量 环绕 | ||
【主权项】:
1.一种压电致动器,适用于一微型流体传输装置,其特征在于,包含:/n一压电致动板,包括有:/n一悬浮板,具有一悬浮板顶面及相对设置的一悬浮板底面,且该悬浮板顶面上具有一凸部,该凸部具有一凸部顶面,而该悬浮板顶面及该悬浮板底面之间定义一第一厚度,该凸部的该凸部顶面与该悬浮板底面之间定义一第二厚度;/n一外框,环绕设置于该悬浮板的周边,且具有一外框顶面及相对设置的一外框底面,该外框的该外框顶面与该外框底面之间定义一第三厚度;/n至少一支架,连接于该悬浮板与该外框之间,且具有一支架顶面及相对设置的一支架底面,该支架顶面与该支架底面之间定义一第四厚度;/n至少一凹槽,设置于该至少一支架的相邻位置,该至少一凹槽具有一槽底面;以及/n一压电元件,贴附于该悬浮板底面;/n其中,该第三厚度大于该第一厚度,该第一厚度大于该第四厚度。/n
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