[发明专利]金属材料表层电子信息无损检测装置和检测方法

摘要

一种金属材料表层电子信息无损检测装置和检测方法，其构成包括第一分束片、第一反射镜、第一可变中性密度滤波片、第二分束片、第二反射镜、第三反射镜、电动平移台、第四反射镜、第二可变中性密度滤波片、第五反射镜、抛物面镜、供样品放置的样品架，第一凸透镜、多通道锁相放大器、第二凸透镜、光束质量监测系统、计算机和遮光套筒，本发明不会对样品造成额外的损伤，可获取金属表面电子价带跃迁的相关信息，从微观电子跃迁可推导出金属改性或损伤等的宏观信息，这不仅对金属材料进行激光冲击强化后进行无损检测有重要的帮助，也对利用飞秒激光提升金属材料的抗损伤性能有着重要的指导意义。

主权项

一种金属材料表面电子信息无损检测装置，特征在于其包括：第一分束片(1)、第一反射镜(2)、第一可变中性密度滤波片(3)、第二分束片(4)、第二反射镜(5)、第三反射镜(6)、电动平移台(7)、第四反射镜(8)、第二可变中性密度滤波片(9)、第五反射镜(10)、抛物面镜(11)、供样品放置的样品架(12)，第一凸透镜(13)、多通道锁相放大器(14)、第二凸透镜(15)、光束质量监测系统(16)、计算机(17)和遮光套筒(18)，所述的第二反射镜(5)和第三反射镜(6)互相垂直地置于所述的电动平移台(7)上构成光束延时装置；入射激光经过第一分束片分为透射光与反射光，所述的反射光经过第一反射镜反射后进入第一中性密度滤波片，透过第一中性密度滤波片后进入第二分束片，第二分束片将入射光分为反射光部分和透射光，其反射光部分经过第二凸透镜聚焦后由光束质量监测系统监测，其透射光部分作为泵浦光经过抛物面镜反射后照射所述的样品表面，其反射光进入遮光套筒，所述的光束质量监测系统与所述的计算机相连；所述的透射光作为探测光，经过所述的光束延时装置、第四反射镜进入第二可变中性密度滤波片，再经过第五反射镜、抛物面镜反射进入样品表面，其反射光经过所述的第一凸透镜聚焦进入多通道锁相放大器；所述的多通道锁相放大器、电动平移台与计算机相连并受计算机控制，所述的计算机通过多通道锁相放大器获取探测光反射率信息。