[发明专利]微机电光学相位调制器在审
| 申请号： | 201710324529.2 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108873313A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;徐静 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种微机电光学相位调制器。所述微机电光学相位调制器，包括透光平板、外围支架、扭转机构、以及扭转驱动器，其中：所述透光平板的上表面与下表面分别镀制光学增透膜；所述透光平板通过扭转机构与所述外围支架连接；所述扭转驱动器用以驱动所述透光平板发生扭转。本发明提供的微机电光学相位调制器，光学口径大、相位调制范围大、光学损耗低、偏振无关，其调谐范围覆盖紫外至中远红外宽广的光学波段。同时，本发明提供的微机电光学相位调制器的体积小、结构简单，可以实现批量化生产，大幅度降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光学相位调制器 微机电 透光平板 扭转驱动器 扭转机构 外围支架 光学技术领域 调谐 光学增透膜 范围覆盖 光学波段 光学口径 光学损耗 偏振无关 相位调制 制造成本 批量化 上表面 体积小 下表面 镀制 扭转 驱动 生产 | ||
【主权项】：
1.一种微机电光学相位调制器，其特征在于，包括透光平板、外围支架、扭转机构、以及扭转驱动器，其中：所述透光平板的上表面与下表面分别镀制光学增透膜；所述透光平板通过扭转机构与所述外围支架连接；所述扭转驱动器用以驱动所述透光平板发生扭转。
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