[发明专利]夹具系统以及固定靶材组件的方法有效
| 申请号： | 201710305285.3 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN108789205B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;吕培聪 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种夹具系统以及固定靶材组件的方法，其中方法包括：提供靶材组件；提供夹具系统，夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端能朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上；之后采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。所述方法能够提高工艺质量和工艺效率。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 系统 以及 固定 组件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种固定靶材组件的方法，其特征在于，包括：提供靶材组件；提供夹具系统，所述夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；所述自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上，且靶材组件和自动压板夹位于基底的同一侧；将靶材组件置于核心区域上后，采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。
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