[发明专利]一种等离子体发生装置用电晕电极及其制作方法

摘要

本发明提供了一种等离子体发生装置用电晕电极的制作方法，所述制作方法主要包括：清洗‑干燥‑覆膜‑刻蚀‑清洗‑干燥‑冲压‑覆膜；该发明开发了一种刻蚀、冲压以及镀膜新工艺，该工艺以钛板为基材，首先通过刻蚀加工出圆柱形电极形状，然后对圆柱形电极进行冲压以制备出尖端形状，该加工方法能确保各个放电点的加工的精度，提高放电的均匀性，减小放电电极的尺寸；另外，本发明还通过镀膜的方法在有突起的钛电极表面镀一层铂，从而增加电极的使用寿命及放电的稳定性。

主权项

1.一种等离子体发生装置用电晕电极的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)取一块厚度为1～2mm的钛板，加工成一定尺寸的片状钛板；(2)将步骤(1)的片状钛板置于盛有4wt％‑7wt％NaOH溶液的超声清洗槽中进行超声清洗，清洗结束后先用去离子水进行冲洗，然后用洁净的压缩气体将钛板吹干；(3)在步骤(2)得到的钛板表面涂覆一层负性光刻胶，之后将掩模版置于光刻胶上，并进行光刻胶的曝光；(4)洗去步骤(3)钛板表面未曝光的光刻胶，并利用等离子刻蚀技术在钛板表面刻蚀出所需的图案，所述刻蚀的刻蚀深度为50～300μm；(5)洗除钛板表面的光刻胶，然后将刻蚀后的钛板置于超声清洗槽中进行超声清洗40～60min，清洗结束后先用去离子水进行冲洗，然后用洁净的压缩气体将钛板吹干；(6)对钛板表面曝光的位置进行冲压，使圆柱端面压出尖端形状；(7)将冲压后的钛板先用体积比为3：1的HNO3‑HF混合溶液进行浸洗以除去钛基表面的氧化层和其它的金属杂质，然后用体积比为3:1的HCl‑H2SO4溶液对钛板表面进行刻蚀以使其表面粗糙化并使钛板表面沉淀相对稳定的TiH2膜，之后采用PdCl2溶液浸泡钛板一段时间以使钛板活化，活化之后用去离子水清洗，用压缩气体将钛板吹干；(8)将干燥的钛板放入镀槽，采用含铂镀液在钛板表面镀一层铂，然后将镀膜后的钛板材清洗干净，用压缩气体吹干，之后置于400～600℃的气氛里热分解60～120min，最后冷却即得所述电晕电极。