[发明专利]基于非等宽硅波导的激光雷达芯片发射端

摘要

一种基于硅波导的激光雷达芯片发射端，发射端由硅波导阵列组成，相邻硅波导的宽度不同，高度、长度和间隔均相同。相邻波导不等宽可以减小它们之间的光串扰，同时也可以缩小波导之间的间距，从而增大出射光束偏转角范围。本发明的基本原理是利用非等宽波导之间的相位失配，来减小它们的间距，从而使阵列波导排布更密集，出射角度覆盖范围更大。此种设计结构简单、光束偏转角大、串扰小，在激光雷达领域中具有广泛的应用前景。

主权项

一种基于硅波导的激光雷达芯片发射端，特征在于其构成是采用多根平行的、相邻波导之间的间隔一致，但波导的宽度不同的硅波导阵列构成，每根硅波导自前端至末端依次是直线形硅波导、S形硅波导、锥形硅波导和直线形硅波导首尾连接构成，所述的波导在同一横截面内波导的高度、波导的宽度、相邻波导之间的间隔都相同，但波导阵列的间隔在前端逐渐增大，与相控阵模块相连接。