[发明专利]产生源分析装置及产生源分析方法有效
申请号: | 201710281182.8 | 申请日: | 2017-04-26 |
公开(公告)号: | CN107340209B | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 武田直希;长谷川祥树;小泉和裕;李波 | 申请(专利权)人: | 富士电机株式会社 |
主分类号: | G01N15/06 | 分类号: | G01N15/06 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 周全 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 分析以气体形态排出的对象成分的产生源。提供一种产生源分析装置,其包含获取含对象成分的气体的浓度测定值和与气体关联而产生的粒子成分的浓度测定值的获取部以及根据气体的浓度测定值与粒子成分的浓度测定值来分析从测定地点到对象成分产生源的距离的分析部。获取部可获取生成粒子成分的原料即前驱气体的浓度测定值与由前驱气体产生的二次生成粒子成分的浓度测定值。 | ||
搜索关键词: | 生源 分析 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种产生源分析装置,其包含:获取部,其获取含对象成分的气体的浓度测定值和与所述气体相关联地产生的粒子成分的浓度测定值;以及分析部,其根据所述气体的浓度测定值与所述粒子成分的浓度测定值来分析从测定地点到所述对象成分的产生源的距离。
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