[发明专利]一种高精度干涉仪气体静压减振基座

摘要

本发明目的在于提供一种应用于高精度变频干涉仪的气体静压减振基座，主要包括减振基座支撑基体、减振基座台面、左右侧连接板、左右底面压板、立柱和以及多孔质材料块等结构和部件组成；减振基座四个圆柱形立柱和采用天然花岗岩材料，有助于保证工作台的稳定性；减振基座台面、左右侧连接板和、左右底面压板和及对应的多孔质材料块等组成气浮结构，可以实现减振基座的减振及隔振作用，左右侧连接板、前后挡板及软质材料保证气浮过程减振基座台面稳固，左右底板及减振基座台面分布有特殊设计布局的多孔质材料块及气体通道实现气浮过程中气隙的均匀性及稳定不变性。

主权项

1.一种高精度干涉仪气体静压减振基座，包括气浮结构，其特征在于：还包括左立柱（11）和右立柱（13），所述的左立柱（11）和右立柱（13）设置于气浮结构的底部，所述的气浮结构包括减振基座台面（1）、左连接板（2）、右连接板（5）、支撑基座（3）、左侧底座（4）、右侧底座（6）、前侧挡板（10）和后侧挡板（12），所述的减振基座台面（1）、左侧底座（4）和右侧底座（6）的外侧分别设置有若干进气孔（15），所述的减振基座台面（1）底部两侧分别设置有左连接板（2）和右连接板（5），左连接板（2）和右连接板（5）的底部设置有左侧底座（4）和右侧底座（6），左侧底座（4）和右侧底座（6）的宽度大于左连接板（2）和右连接板（5）的宽度，所述的支撑基座（3）设置于的减振基座台面（1）、左连接板（2）、右连接板（5）、左侧底座（4）和右侧底座（6）围成的腔体内，所述的减振基座台面（1）底部设置有侧多孔制材料块（7）、中间多孔制材料块（8）和中心多孔制材料（9），中间多孔制材料块（8）有4块组成环状，中心多孔制材料（9）设置于4块中间多孔制材料块（8）内，侧多孔制材料块（7）设置有4块，围绕环状的中间多孔制材料块（8）的圆周设置；所述的左侧底座（4）、右侧底座（6）与支撑基座（3）接触的上表面处设置有多孔制材料块（14），所述的左侧底座（4）、右侧底座（6）内部分布着与多孔制材料块（14）内部相连通的气孔通道，减振基座台面（1）内部分布着与侧多孔制材料块（7）、中间多孔制材料块（8）和中心多孔制材料（9）内部相互连通的气孔通道，左右连接板与支撑基座（3）之间填充有软性材料，前侧挡板（10）和后侧挡板（12）分别设置于减振基座台面（1）、左连接板（2）、右连接板（5）、左侧底座（4）、右侧底座（6）的两侧通过螺钉连接。