[发明专利]一种多晶硅自动进料系统及其进料方法在审
| 申请号： | 201710254683.7 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN108728902A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 汪燕;刘源 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅自动进料系统及其进料方法。多晶硅自动进料系统括：控制装置、驱动装置以及进料装置，所述控制装置分别与所述驱动装置和所述进料装置通讯连接，所述驱动装置与所述进料装置连接，且所述进料装置包括投料口。多晶硅自动进料方法包括：所述控制装置控制所述驱动装置带动所述进料装置运动，以使所述进料装置的投料口对准填料位置；且所述控制装置控制所述进料装置通过所述投料口将多晶硅投放至所述填料位置。本发明，一方面克服了人工填料所带来的填料效率低填料不致密的问题，另一方面也避免了人工填料所造成的待填料容器破损以及物料受到污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 进料装置 多晶硅 控制装置 驱动装置 自动进料系统 投料口 人工填料 填料位置 致密 填料容器 填料效率 通讯连接 自动进料 破损 对准 投放 污染 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅自动进料系统，其特征在于，包括控制装置、驱动装置以及进料装置，所述控制装置分别与所述驱动装置和所述进料装置通讯连接，所述驱动装置与所述进料装置连接，且所述进料装置包括投料口；其中，所述驱动装置在所述控制装置控制下带动所述进料装置运动，所述进料装置在所述控制装置控制下通过所述投料口释放多晶硅。
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