[发明专利]一种超薄材料-金属新型接触电极

摘要

本发明公开了一种超薄材料‑金属新型接触电极。包括衬底以及置于衬底上的超薄材料和多层金属电极，超薄材料的全部或者其中一部分位于金属电极间，使得超薄材料的上下表面分别与金属电极接触，电流分别经多层金属电极从超薄材料的上表面和下表面流入到超薄材料中。本发明使得接触电导率增加，接触电阻减小，结构简单，制作方便，利于集成，可以直接应用在目前的超薄材料光电子器件中。

主权项

1.一种超薄材料‑金属新型接触电极，包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)和多层金属电极(2、3)，其特征在于：超薄材料(1)的全部或者其中一部分位于金属电极间，使得超薄材料(1)的上下表面分别与金属电极接触；所述的接触电极采用以下其中一种：第一种包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)和至少上下两层金属电极(2、3)，两层金属电极(2、3)置于衬底(4)上的一侧，超薄材料(1)其中一部分置于衬底(4)上另一侧，超薄材料(1)另一部分位于两层金属电极(2、3)的一部分之间，两层金属电极(2、3)另一部分表面直接相接触，使得超薄材料(1)一部分的上下表面分别与上下两层金属电极接触；第二种包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)和至少上下两层金属电极(2、3)，超薄材料(1)全部置于下层金属电极(3)和上层金属电极(2)之间，超薄材料(1)全部上下表面分别与上下两层金属电极接触，两层金属电极(2、3)表面之间不接触而通过引线(5)连接；第三种包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)和至少上下两层金属电极(2、3)，两层金属电极(2、3)置于衬底(4)上的一侧，衬底(4)上刻有凹槽，下层金属电极(3)置于凹槽中，上层金属电极(2)置于下层金属电极(3)上，超薄材料(1)其中一部分置于衬底(4)上另一侧，超薄材料(1)另一部分延伸到下层金属电极(3)上表面上并位于上层金属电极(2)和下层金属电极(3)的一部分之间，两层金属电极(2、3)另一部分表面直接相接触，使得超薄材料(1)一部分的上下表面分别与上下两层金属电极(2、3)接触；第四种包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)、上凸结构(6)和上下两层金属电极(2、3)，两层金属电极(2、3)置于衬底(4)上的一侧，衬底(4)上的一侧置有上凸结构(6)，超薄材料(1)其中一部分置于上凸结构(6)上，超薄材料(1)位于上层金属电极(2)和下层金属电极(3)的一部分之间，两层金属电极(2、3)另一部分表面直接相接触，使得超薄材料(1)一部分的上下表面分别与上下两层金属电极(2、3)接触；第五种包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的超薄材料(1)、条形波导(7)和金属电极(2、3)，衬底(4)上的两侧均置有一组金属电极，每组金属电极均包括上下两层金属电极(2、3)，衬底(4)中部置有条形波导(7)，超薄材料(1)中部置于条形波导(7)上，超薄材料(1)与条形波导(7)之间设置隔离层(8)，超薄材料(1)两侧分别位于两组金属电极的上层金属电极(2)和下层金属电极(3)的一部分之间，每组金属电极的两层金属电极(2、3)另一部分表面直接相接触，使得超薄材料(1)一部分的上下表面分别与上下两层金属电极(2、3)接触；第六种包括衬底(4)以及置于衬底(4)上的两片超薄材料(1)、两层隔离层(8)，条形波导(7)和金属电极(2、3)，衬底(4)上的两侧均置有一组金属电极，每组金属电极均包括上下两层金属电极(2、3)，第一片超薄材料(1)一侧位于其中一组金属电极的上层金属电极(2)和下层金属电极(3)的一部分之间，第一片超薄材料(1)另一侧置于衬底(4)中部上表面；第二片超薄材料(1)一侧位于另一组金属电极的上层金属电极(2)和下层金属电极(3)的一部分之间，第二片超薄材料(1)另一侧通过第一隔离层置于第一片超薄材料(1)另一侧上；第二片超薄材料(1)另一侧上置有第二层隔离层(8)和条形波导(7)，使得衬底(4)中部从下到上依次为第一片超薄材料(1)、第一隔离层、第二片超薄材料(1)、第二层隔离层和条形波导(7)；所述的超薄材料的厚度是0.1nm～1μm。