[发明专利]扫描反射镜装置及其制造方法

摘要

本发明涉及扫描反射镜装置及其制造方法，涉及一种由反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片形成的光学装置。反射镜薄片包括导电材料的第一层、导电材料的第二层和位于第一层与第二层之间的电绝缘材料的第三层。反射镜元件由反射镜薄片的第二层形成，并且具有在开放至至少第一层的腔的底部中的反射表面。当反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片彼此接合时，可以利用良好的光学质量的平坦玻璃薄片来包围反射镜元件。

主权项

一种包括可移动反射镜部件的光学装置，其包括：玻璃薄片，在所述玻璃薄片的至少一侧具有第一平坦表面；反射镜薄片，所述反射镜薄片包括导电材料的第一层、导电材料的第二层和在所述第一层与所述第二层之间的电绝缘材料的第三层的组合，其中所述第一层具有背向所述第三层的第一侧，所述第二层具有抵靠所述第三层的第二侧；用于悬挂所述可移动反射镜部件的悬挂弹簧结构，其中所述可移动反射镜部件和所述悬挂弹簧结构由所述反射镜薄片的所述第二层制成；第二腔，其延伸穿过至少所述反射镜薄片的所述第一层，其中所述第二腔在所述第一侧由第二平坦表面界定；反射层，所述反射层在所述第二腔的底部由所述反射镜部件承载；盖薄片，其具有第三侧和第四侧并且包括从所述盖薄片的所述第四侧延伸至所述盖薄片中的第一腔；其中所述盖薄片接合至所述反射镜薄片，使得所述第三侧背向所述反射镜薄片，所述第四侧抵靠所述反射镜薄片的第二层；所述玻璃薄片接合至所述反射镜薄片，使得所述玻璃薄片的所述第一平坦表面作为在所述第二腔上方的平面延伸并且与所述第二平坦表面邻接接合；气密封闭空间，其包围所述可移动反射镜部件，在所述玻璃薄片的所述第一平坦表面与所述盖薄片中的所述第一腔的底部之间延伸。