[发明专利]扫描反射镜装置及其制造方法

权利要求书

1.一种包括可移动反射镜部件的光学装置，其包括：

玻璃薄片，在所述玻璃薄片的至少一侧具有第一平坦表面；

反射镜薄片，所述反射镜薄片包括导电材料的第一层、导电材料的第二层和在所述第一层与所述第二层之间的电绝缘材料的第三层的组合，其中所述第一层具有背向所述第三层的第一侧，所述第二层具有抵靠所述第三层的第二侧；

用于悬挂所述可移动反射镜部件的悬挂弹簧结构，其中所述可移动反射镜部件和所述悬挂弹簧结构由所述反射镜薄片的所述第二层制成；

第二腔，其从所述第一层的所述第一侧延伸穿过至少所述反射镜薄片的所述第一层，其中所述第二腔在所述第一侧由第二平坦表面界定；

反射层，所述反射层在所述第二层的所述第二侧的表面上并在所述第二腔的底部由所述可移动反射镜部件承载；

盖薄片，其具有第三侧和第四侧并且包括从所述盖薄片的所述第四侧延伸至所述盖薄片中的第一腔；其中

所述盖薄片接合至所述反射镜薄片，使得所述第三侧背向所述反射镜薄片，所述第四侧抵靠所述反射镜薄片的第二层；

所述玻璃薄片接合至所述反射镜薄片，使得所述玻璃薄片的所述第一平坦表面作为在所述第二腔上方的平面延伸并且与所述第二平坦表面邻接接合；

气密封闭空间，其包围所述可移动反射镜部件和所述悬挂弹簧结构，在所述玻璃薄片的所述第一平坦表面与所述盖薄片中的所述第一腔的底部之间延伸；其特征在于

压电致动元件，形成在被包围的所述悬挂弹簧结构的表面上，在所述第二层的与所述第二侧相反的侧，其中所述压电致动元件被配置成响应于通过导电连接接收的电信号来致动所述可移动反射镜部件；并且在于

所述导电连接包括从所述盖薄片的所述第三侧可及的电接触元件和从所述电接触元件延伸穿过所述盖薄片的导电通路；

所述导电通路由所述盖薄片上的硅材料形成，以及与周围的玻璃填充物绝缘，所述玻璃填充物延伸以形成所述盖薄片的第四侧；

并且

所述压电致动元件通过被制造在第二层的同一侧上的配线电连接至所述导电通路作为所述压电致动元件。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述反射镜薄片由绝缘体上硅薄片形成。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于

所述玻璃薄片在所述玻璃薄片的两侧均具有平坦表面，在所述玻璃薄片的一侧的内表面和在所述玻璃薄片的另一侧的外表面，其中所述内表面是第一平坦表面；

所述外表面作为至少在所述第二腔上方的平面延伸。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于具有在所述玻璃薄片的所述外表面上的减反射光学涂层。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于

所述可移动反射镜部件的前侧在所述反射镜薄片的所述第二层的第二侧，所述可移动反射镜部件的背侧在所述第二层的另一侧；

所述可移动反射镜部件的所述背侧包括多个凹进。

6.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于所述反射层包括沉积在所述第二腔的底部上的金属反射器。

7.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于

所述反射层包括通过所述第二腔暴露于光的电介质膜的堆叠体；

所述电介质膜具有不同的折射率值，被配置成使得所述电介质膜的堆叠体作为反射镜反射光。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于

所述电介质膜的堆叠体的顶部取向成朝向入射光束；以及

所述电介质膜的堆叠体的顶层包括具有高折射率的电介质材料的膜。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于所述顶层由二氧化硅的保护膜覆盖。