[发明专利]一种载液板及其制造方法以及磁性复合流体抛光头装置

摘要

本发明提供一种载液板及其制造方法，还提供一种磁性复合流体抛光头装置。本发明提供的载液板具有多个正四面体凹槽单元，载液板由基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ以及附板Ⅳ层层叠加而组成，基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ以及附板Ⅳ上具有凹槽或通孔，凹槽和通孔相匹配共同构成正四面体凹槽单元。本发明提供的磁性复合流体抛光头装置包括：磁铁旋转部以及载液板旋转部，磁铁旋转部包含：第一驱动电机、主轴、磁铁盘以及永久磁铁；载液板旋转部包含：第二驱动电机、V型带轮、V带、连接支架以及载液板，其中，载液板为上述的载液板。本发明提供的磁性复合流体抛光头装置结构简单，材料去除效率高，适用的磁性簇尺寸范围广等特点。

主权项

1.一种载液板制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：设所述载液板吸附的磁性复合流体抛光液的磁性簇的顶端为半球形，顶端为半球形的所述磁性簇的标准直径为a，载液板上正四面体凹槽单元的棱长为x，所述磁性簇的顶端与所述正四面体凹槽单元的底面正三角形内切，即有：得所述正四面体凹槽单元的棱长为：由所述正四面体凹槽单元的棱长得到所述正四面体凹槽单元的深度h0为：步骤二：按照2：2：1：0.5：0.25的比例设计基板正四面体凹槽深度h1和附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ、附板Ⅳ正三棱台厚度h2，h3，h4，h5，得到h1，h2，h3，h4，h5与所述正四面体凹槽单元的深度h0关系为：基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ、和附板Ⅳ的正四面体凹槽和正三棱台通孔的底面正三角形的边长分别为x1，x2，x3，x4，x5，得：步骤三：所述载液板的组合情况有：基板、基板+附板Ⅰ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ+附板Ⅲ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ+附板Ⅲ+附板Ⅳ，这五种组合所述载液板配合的所述磁性簇的最大直径分别为a1，a2，a3，a4，a5，计算：a3＝a  (16)上述载液板能满足配合的所述磁性簇的直径范围为：基板、基板+附板Ⅰ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ+附板Ⅲ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ+附板Ⅲ+附板Ⅳ，这五种组合载液板满足的所述磁性簇的直径调节范围分别为：步骤四：依据所述磁性簇直径的范围，选取所需的所述载液板的组合情况。