[发明专利]一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法有效
| 申请号： | 201710224205.1 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN107129277B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 李龙腾;刘冠鹏 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/64;C23C14/35;B28B3/00 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 孙笑飞 |
| 地址： | 471000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法，以气化回收ITO粉为原料，加入不小于原料质量0.5%的氧化锡和/或氧化铟粉末作为烧结活性增强剂，并使其分布于ITO粉中；将混合后的粉末加水、分散剂球磨后喷雾干燥，然后放入模具中以分阶段逐步加压，每次升压后保持一定时间的方式压制成初坯，然后再以分阶段逐步升压，每次升压后保持一定时间的方式经冷等静压制成坯体，制成的坯体经保温脱脂后，在氧气气氛下烧制成ITO靶材。新加入的粉末分布于ITO回收粉中能够从整体上提高混合粉末的烧结活性，改变其成型和烧结过程中的特性，坯体成型过程中分段逐步加压，使坯体具有较高的密度，ITO靶材相对密度能够达到99.5%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 回收 粉末 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法，其特征在于：以气化回收ITO粉为原料，加入不小于原料质量0.5%的氧化锡和/或氧化铟粉末作为烧结活性增强剂，并使其分布于ITO粉中；将混合后的粉末加水、分散剂球磨后喷雾干燥，然后放入模具中以分阶段逐步加压，每次升压后保持一定时间的方式压制成初坯，然后再以分阶段逐步升压，每次升压后保持一定时间的方式经冷等静压制成坯体，制成的坯体经保温脱脂后，在氧气气氛下烧制成ITO靶材。
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