[发明专利]用于高能离子注入机的射频加速调谐装置及控制方法有效
| 申请号： | 201710220775.3 | 申请日： | 2017-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN107134399B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 钟新华;孙雪平;胡振东;彭立波;袁卫华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/317 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;廖元宝 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于高能离子注入机的射频加速调谐装置，包括射频电源、调谐控制器、调谐筒和调谐电机，调谐控制器包括调谐控制单元、调谐电机控制单元和谐振状态检测单元，调谐控制单元分别与调谐电机控制单元和谐振状态检测单元相连，调谐电机与调谐电机控制单元相连。本发明的调谐控制方法包括S01、谐振状态检测单元用于检测射频电源的输出信号并发送至调谐控制单元；S02、调谐控制单元用于根据射频电源的输出信号输出控制信号至调谐电机控制单元；S03、调谐电机控制单元根据控制信号控制调谐电机的谐振以使调谐筒处于谐振状态。本发明的用于高能离子注入机的射频加速调谐装置及控制方法均具有操作简便、控制精准等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高能 离子 注入 射频 加速 调谐 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于高能离子注入机的射频加速调谐装置，其特征在于，包括射频电源（1）、调谐控制器（2）、调谐筒（3）和调谐电机（4），所述调谐控制器（2）包括调谐控制单元（21）、调谐电机控制单元（25）和谐振状态检测单元（22），所述调谐控制单元（21）分别与所述调谐电机控制单元（25）和谐振状态检测单元（22）相连，所述调谐电机（4）与所述调谐电机控制单元（25）相连；所述谐振状态检测单元（22）用于检测所述射频电源（1）的输出信号并发送至调谐控制单元（21）；所述调谐控制单元（21）用于根据所述射频电源（1）的输出信号输出控制信号至调谐电机控制单元（25），所述调谐电机控制单元（25）根据控制信号控制调谐电机（4）的谐振，调节负载电容，以使调谐筒（3）处于谐振状态；所述调谐控制器（2）还包括电压幅值检测单元（23），所述电压幅值检测单元（23）分别与所述调谐筒（3）和调谐控制单元（21）相连，所述电压幅值检测单元（23）用于检测调谐筒（3）负载信号的电压幅值并发送至调谐控制单元（21），所述调谐控制单元（21）用于将电压幅值与预设电压幅值相比较，根据比较结果控制所述射频电源（1）的输出电压幅值。
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