[发明专利]表面轮廓扫描方法及其装置有效
| 申请号： | 201710204110.3 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108662985B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 周智川;陈建国;杨沛哲 | 申请（专利权）人： | 均豪精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面轮廓扫描方法及其装置，该方法包含以下步骤：设定扫描区域，将一测试件设定为至少一扫描区与至少一移动区；执行扫描，一设于一扫描单元的一干涉物镜于该扫描区移动，以使该扫描单元于该扫描区对该测试件进行扫描，并得出一扫描信息，对该扫描信息进行运算，以形成一对应该扫描区的扫描轮廓值；一耦接于该扫描单元的移动模块控制该扫描单元于该移动区移动一预定距离，该扫描单元未进行扫描时，设定对应该移动区的一预定轮廓值；以及得出表面轮廓，该预定轮廓值与该扫描轮廓值进行组合，以得出该测试件的表面轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 轮廓 扫描 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种表面轮廓扫描方法，其特征在于，包含以下步骤：设定扫描区域，将一测试件设定为至少一扫描区与至少一移动区；执行扫描，一设于一扫描单元的一干涉物镜于该扫描区移动，以使该扫描单元于该扫描区对该测试件进行扫描，并得出一扫描信息，对该扫描信息进行运算以形成一对应该扫描区的扫描轮廓值；一耦接于该扫描单元的移动模块控制该扫描单元于该移动区移动一预定距离，该扫描单元未进行扫描时，设定对应该移动区的一预定轮廓值；以及得出表面轮廓，该预定轮廓值与该扫描轮廓值进行组合，以得出该测试件的表面轮廓。
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