[发明专利]用于48对棒多晶硅还原炉的喷嘴

摘要

本发明提供了一种用于48对棒多晶硅还原炉的喷嘴，属于多晶硅生产领域。喷嘴主要包括芯体，芯体包括第一内管和第一外管，第一外管套设于第一内管上，第一内管包括主通道，并且主通道的出气孔的通流面积比进气口的小。第一外管与第一内管之间的间隙形成辅通道。芯体通过连接部安装在底盘上。由于主通道的进气口的通流面积大于出气口的通流面积，气体在通过主通道时速度越来越快并最终到达还原炉的顶部。进入到辅助通道的气体通过辅助通道后，一部分气体到达还原炉的中部，另一部分从第一外管上的侧通气孔出来到达还原炉的底部。因此物料气体可以比较均匀地分布于整个还原炉中，使得还原反应充分进行。

主权项

一种用于48对棒多晶硅还原炉的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴包括芯体，所述芯体包括：第一内管，所述第一内管包括主通道，所述主通道沿所述第一内管的长度方向延伸，包括出气口和进气口，并且所述进气口的通流面积大于所述出气口的通流面积；第一外管，所述第一外管套设于所述第一内管上，所述第一外管与所述第一内管间隙设置形成辅助通道；所述第一外管的管壁上设置有侧通气孔；所述芯体包括进气端和出气端；所述喷嘴还包括分流罩，所述分流罩为壳体结构，套设于所述第一外管上；所述分流罩与所述第一外管的管壁共同围合成混合腔，所述侧通气孔位于所述混合腔内，所述分流罩上还设置有多个壳体通气孔；所述分流罩包括圆形的盖板、底板和筒体，所述盖板和所述底板分别与所述筒体的两端密封连接；所述盖板和所述底板上设置有安装孔，所述第一外管穿过所述安装孔，所述第一外管的管壁与所述盖板和所述底板密封连接；所述喷嘴还包括喷头，所述喷头包括第二内管、第二外管和中心管；所述第二外管套设于所述第二内管上，两者间隔设置形成外通道；所述第二内管套设于所述中心管上，两者间隔设置形成内通道；所述中心管上设置有中心通道，所述中心通道沿所述中心管的长度方向延伸；所述喷头还包括曲面罩，所述曲面罩罩在所述第二内管的出气口上，所述中心管穿过所述曲面罩；所述曲面罩上设置有多个面罩通气孔；所述喷头与所述芯体的出气端连接，所述主通道与所述中心通道及所述内通道连通，所述辅助通道与所述外通道连通。