[发明专利]脆性材料基板的裂断装置有效
| 申请号： | 201710183412.7 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107127900B | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 成尾彻 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D1/22 | 分类号： | B28D1/22;B28D5/00;C03B33/033 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种可缩短脆性材料基板裂断所需时间的裂断装置。其是由载置基板W的平台(2)、于平台(2)上方配置成与载置面平行的梁(7)、沿着梁(7)的延伸方向并设置于该梁(7)的导引轴(8)、以及形成为可沿着该导引轴(8)移动的多个裂断杆(10)所构成；且以如下方式形成：各裂断杆(10)形成为可通过升降轴(12)而升降，且形成为可以与平台(2)的载置面垂直的轴作为中心而旋转，借此，多个裂断杆(10)成为沿着梁(7)的延伸方向串行地排列的串行姿势、以及沿着与梁(7)的延伸方向正交的方向成为相互平行的分离姿势。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 装置 | ||
【主权项】：
1.一种脆性材料基板的裂断装置，其是由具有载置脆性材料基板的载置面的平台、在该平台上方配置成与该载置面平行的梁、沿着该梁的延伸方向并设置于该梁的导引轴、以及形成为可沿着该导引轴移动的多个裂断杆所构成；其特征在于，该多个裂断杆之各个，形成为可通过升降轴而升降，且形成为可以与该载置面垂直的轴作为中心而旋转，借此该多个裂断杆形成为可成为沿着梁的延伸方向串行地排列的串行姿势、与沿着与梁的延伸方向正交的方向成为相互平行的分离姿势；在该分离姿势中，通过使该多个裂断杆同时下降，而可将形成在该脆性材料基板的多个刻划线同时裂断。
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