[发明专利]一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法在审
| 申请号： | 201710183202.8 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106981556A | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 刘召军;熊兆斌;覃丽环;杨扬 | 申请（专利权）人： | 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 528300 广东省佛山市顺德区大良*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种可精密调节间距的扩膜机及其调节方法，所述可精密调节间距的扩膜机包括气缸和机械装置；所述气缸内设置有压力传感器和活塞，所述机械装置内设置有按键部件、精密马达和单片机系统；所述压力传感器、按键部件、精密马达均和单片机系统连接；所述精密马达还和活塞连接。操作者能够根据单片机系统对气压数据的处理结果在按键部件输入间距数据，按键部件将间距数据发送给单片机系统；所述单片机系统对间距数据进行处理得到控制指令，并将控制指令发送给精密马达；所述精密马达接收到控制指令，会做出相应的动作，控制活塞上下移动，从而精确控制气缸内气压，从而实现对扩膜间距的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 调节 间距 扩膜机 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种可精密调节间距的扩膜机，其特征在于，包括：气缸和机械装置；所述气缸内设置有压力传感器和活塞，所述机械装置内设置有按键部件、精密马达和单片机系统；所述压力传感器、按键部件、精密马达均和单片机系统连接；所述精密马达还和活塞连接。
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