[发明专利]一种温度磁场薄膜传感材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201710178568.6 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN106987811B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 陈水源;韩森;侯薇薇;叶晴莹;黄志高;张旎 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08;C01G45/02 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350108 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种温度磁场薄膜传感材料及其制备方法，用钙离子和钡离子部分取代锰氧化物中镧离子，对锰氧化物材料的磁电阻特性和居里温度进行调制。首先采用溶胶凝胶法制备锰氧化物材料前驱体，然后将该材料前驱体粉末化并制成块体靶材，最后用脉冲激光沉积法将块体靶材沉积在衬底上并退火。采用溶胶凝胶法制备锰氧化物前驱体，使得锰氧化物材料混合比较均匀、产物粒径为纳米级且粒径均匀度较高，溶胶凝胶法具有操作简单、条件温和、易控制等特点；用脉冲激光沉积法沉积锰氧化物薄膜，具有质量好、均匀性高和材料组分稳定等特点，有效地保证了所得薄膜与靶材成分的一致。另外，薄膜结构还拓宽了锰氧化物材料的顺磁态—铁磁态转变温区。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 磁场 薄膜 传感 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种温度磁场薄膜传感材料的制备方法，用于制备可用于温度和磁场薄膜传感材料的钙钛矿锰氧化物薄膜，其特征在于：制备方法包括以下步骤：步骤1：采用溶胶凝胶法制备锰氧化物材料前驱体，步骤2：将锰氧化物材料前驱体粉末化并制成块体靶材，步骤3：用脉冲激光沉积法将该块体靶材沉积在绝缘的衬底上得到钙钛矿锰氧化物薄膜。
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