[发明专利]一种四丝敏感结构硅微机械三轴射流陀螺

摘要

本申请公开了一种四丝敏感结构硅微机械三轴射流陀螺，该射流陀螺包括四丝敏感结构射流角速度敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，其中敏感元件包括压环、压电陶瓷圆振子、PMMA板、硅板；压电陶瓷圆振子嵌入至所述PMMA板上，并用压环固定它的边缘；PMMA板设置有气流通道；硅板上设置有气流通道和热线；PMMA板、硅板依次粘接构成所述四丝敏感结构射流角速度敏感元件。本申请提出了一种只用四根热线就能敏感三个正交轴—X、Y和Z轴角速度的新的三轴敏感原理，敏感元件结构只有两层，因此这种射流陀螺热线少，结构简单，成品率高，功耗低，能敏感三个正交方向(X、Y、Z)角速度，多轴一体，而且三个方向灵敏度为同一数量级，实用化强。

主权项

1.一种四丝敏感结构硅微机械三轴射流陀螺，其特征在于，所述射流陀螺包括四丝敏感结构射流角速度敏感元件和PCB电路板，所述四丝敏感结构射流角速度敏感元件和PCB电路板电连接；其中，所述四丝敏感结构射流角速度敏感元件包括压环、压电陶瓷圆振子、PMMA板和硅板；所述压电陶瓷圆振子嵌入至所述PMMA板的正面，并用所述压环固定它的边缘；所述PMMA板的反面设置有气流通道；所述硅板上设置有气流通道和热线；所述PMMA板、硅板依次粘接构成所述四丝敏感结构射流角速度敏感元件；所述PMMA板正面的中心开设一圆形泵槽，在所述泵槽的中心开设一圆柱形泵腔，泵槽的边缘为一高度为PMMA板厚度1/3的台阶，所述压电陶瓷圆振子粘接在所述台阶上，并用所述压环固定它的边缘；在所述PMMA板反面圆柱形泵腔圆周上等距离开口形成四个截面为倒梯形的排气孔，所述排气孔的末端为四个排气口；所述排气口外设置一圆环形排气室；以所述排气室的圆心为中心，在圆环形排气室的圆周上放射状交替均匀开设两组共八个长方形孔；其中，四个所述排气孔对应四个集流槽；与四个所述集流槽相邻的是四个上敏感槽，所述上敏感槽的始端与所述排气室相通；所述集流槽的末端和所述上敏感槽的末端由圆环形回流槽连通；所述硅板上开设与所述PMMA板反面的四个上敏感槽位置相互对应、大小形状完全相同的四个下敏感槽，在硅板的表面设置四根热线，并悬空在四个下敏感槽的上方；所述PMMA板背面和硅板粘接以后形成的气体空间为气流通道；压电陶瓷圆振子嵌入到所述PMMA板正面后构成封闭的气流通道；所述泵腔和泵槽构成泵室。