[发明专利]应用于显示面板的晶体管电性测量方法及装置

摘要

本发明公开一种应用于显示面板的晶体管电性测量方法，该方法包括：采用镭射去除所述显示面板中设置于所述晶体管的电极金属之上的无机层，并采用镭射从所述显示面板中设置于所述电极金属之上的有机层打孔至所述晶体管的电极金属；在所述孔内电镀金属层；以及采用探针与所述金属层连接，以对所述晶体管的电极金属进行电性测试。本发明还公开了对应的装置。本发明提高测量晶体管的电学特性的成功率，有利于快速判断出电性异常，从而快速提升显示面板的良品率。

主权项

1.一种应用于显示面板的晶体管电性测量方法，其特征在于，包括：/n采用镭射去除所述显示面板中设置于所述晶体管的电极金属之上的无机层，并采用镭射从所述显示面板中设置于所述电极金属之上的有机层打孔至所述晶体管的电极金属；/n在所述孔内电镀金属层；以及/n采用探针与所述金属层连接，以对所述晶体管的电极金属进行电性测试；/n所述采用镭射去除所述显示面板中设置于所述晶体管的电极金属之上的无机层包括：/n以第一参数镭射所述显示面板上预设区域内的所述无机层以去除所述预设区域内的无机层，其中所述预设区域位于所述电极金属之上，且所述预设区域的面积大于所述电极金属；/n所述采用镭射从所述显示面板中设置于所述电极金属之上的有机层打孔至所述晶体管的电极金属包括：/n以第二参数镭射所述预设区域内位于所述电极金属上方的有机层以使所述有机层形成孔至所述电极金属；/n所述第一参数包括第一夹缝尺寸和第一能量大小，其中所述第一夹缝尺寸对应于所述预设区域的面积，所述第一能量大小与所述无机层的厚度成预设比例；/n所述第二参数包括第二夹缝尺寸和第二能量大小，其中，所述第二夹缝尺寸小于所述第一夹缝尺寸，所述第二能量大小大于所述第一能量大小，所述第二夹缝尺寸对应于所述金属电极。/n