[发明专利]全自动硅片清洗线及其工作方法在审
| 申请号： | 201710134175.5 | 申请日： | 2017-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN107051966A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 李继忠;李述周 | 申请（专利权）人： | 常州市科沛达超声工程设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00;B08B11/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种全自动硅片清洗线及其工作方法，本全自动硅片清洗线包括插片段、清洗段、烘干段；其中所述插片段适于将层叠硅片逐片插入花篮中，并将满载花篮送至清洗段进行清洗，且在清洗完毕后送至烘干段进行烘干；通过对实际生产厂商的工艺需求加以自动化集成，插片环节全自动化，插片后右搬运机械手将花篮放入清洗设备清洗，清洗后由搬运机械手将花篮放入通过式烘箱烘干，再由五轴机械手机构将花篮加载到分选设备(后续设备)的上料处；自动化生产降低了硅片在周转过程中的损耗，节约了在清洗环节的周转时间，提高了设备的单日产能降低生产厂家的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 硅片 清洗 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
一种全自动硅片清洗线，其特征在于，包括：插片段、清洗段、烘干段；其中所述插片段适于将层叠硅片逐片插入花篮中，并将满载花篮送至清洗段进行清洗，且在清洗完毕后送至烘干段进行烘干。
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