[发明专利]一种电化学抛光方法及石墨烯薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201710118005.8 | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN107119313A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张志勇;陈诚;闫军锋;赵武;许曼章;王英楠;刘成 | 申请（专利权）人： | 西北大学 |
| 主分类号： | C25F7/00 | 分类号： | C25F7/00;C25F3/22;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所61216 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 710069 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电化学抛光方法，包括以待抛光衬底为阳极，以不溶性金属为阴极，通电搅拌进行电解，电解采用的电解液包括磷酸、硫酸、去离子水和聚乙二醇的混合液。本发明还提供一种电化学抛光平台，包括直流电源、电解容器及搅拌器；本发明的电化学抛光方法，采用了一种全新的电解液，使用磷酸、硫酸系电解液为基础，使得在电化学抛光阶段电解液对衬底的腐蚀更加均匀，在抛光过程中电解液对衬底的抛光处理可重复性高，不产生气泡，尤其在本发明的工艺下抛光铜和镍衬底时，能够有效改善衬底表面形貌，能从根本上除去细小的划痕，基本消除衬底表面缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电化学 抛光 方法 石墨 薄膜 制备 | ||
【主权项】：
一种电化学抛光方法，所述方法包括以待抛光衬底为阳极，以不溶性金属为阴极，通电搅拌进行电解，其特征在于，电解采用的电解液包括磷酸、硫酸、去离子水和聚乙二醇的混合液。
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