[发明专利]将虚设图型用于套迭目标设计及套迭控制的方法有效
| 申请号： | 201710116727.X | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN107146783B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 朴东锡;周跃;M·卡拉柯依 | 申请（专利权）人： | 格罗方德半导体公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 英属开曼群*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 所提供是将虚设图型用于套迭目标设计及套迭控制的方法。具体实施例包括在第一层上提供第一虚设图型作为集成电路(IC)用的外套迭目标；在第二层上提供与第二虚设图型相关联的图型作为用于测量套迭的目标；以及利用扫描式电子显微镜(SEM)获得该第一与第二虚设图型间的套迭测量。 | ||
| 搜索关键词： | 虚设 用于 目标 设计 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，包含：在第一层上提供第一虚设图型作为集成电路(IC)用的外套迭目标；在第二层上提供与第二虚设图型相关联的图型作为用于测量套迭的目标；以及利用扫描式电子显微镜(SEM)获得该第一与第二虚设图型间的套迭测量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于格罗方德半导体公司，未经格罗方德半导体公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710116727.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于标准单元的中段制程带
- 下一篇：一种集成电子装置及其生产方法
