[发明专利]微镜监测方法与装置，以及照明装置和光刻机有效
| 申请号： | 201710115102.1 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN108507498B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 张一志;李玉龙;许琦欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/24;G03F7/20 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微镜监测方法与装置，以及照明装置和光刻机，该方法用以实时监测微镜的翻转角度与面型，包括：先提供至少两束平行等距的激光束；再获得两束激光束经所述微镜反射以及傅里叶透镜透射后形成于感光元件上的光斑；然后：测量得到光斑的位置，进而依据光斑位置确定所述微镜的翻转角度；测量得到所述两束激光束所产生的光斑的间距，进而依据光斑间距的变化确定所述微镜的面型变化。 | ||
| 搜索关键词： | 微镜 光斑 激光束 照明装置 光刻机 翻转 面型 测量 傅里叶透镜 变化确定 感光元件 光斑位置 平行等距 实时监测 监测 透射 反射 | ||
【主权项】：
1.一种微镜监测方法，用以实时监测微镜的翻转角度与面型，其特征在于：包括：/n先提供至少两束平行的激光束；/n再获得两束激光束经所述微镜反射以及傅里叶透镜透射后形成于感光元件上的光斑；/n然后：/n测量得到光斑的位置，进而依据光斑位置确定所述微镜的翻转角度；/n测量得到所述两束激光束所产生的光斑的间距，进而依据光斑间距的变化确定所述微镜的面型变化；/n其中，当激光束多于两束时，任意相邻两激光束间的距离相等；/n确定所述微镜的翻转角度时，通过预先计算得到的微镜的翻转角度与光斑位置的关系确定当下微镜的翻转角度，该关系通过以下步骤计算得到：/n先计算得到所述微镜绕X、Y向翻转后的法线向量；/n求得所述微镜的入射光线与反射光线之间的关系，进而得到微镜翻转角度与其反射光线之间的矢量关系；/n基于所述感光元件和傅里叶透镜的空间位置关系，得到光斑位置与微镜的翻转角度的关系；/n依据光斑间距的变化确定所述微镜的面型变化时，通过以下关系来确定：/n
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