[发明专利]一种新型电容式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种新型电容式压力传感器及其制备方法，包括基座和敏感片，基座包括两对称设置的半基座，左半基座和右半基座均分为上下两段，其上段为内孔半圆柱结构，其下段为平板结构，在左、右半基座的平板结构上开设有对应的左、右压力介质通孔，在左、右半基座的内孔半圆柱结构上开设有左、右加工通孔；敏感片包括两个基板，左基板和右基板的内侧面上分别设有相对的电极和电极引线，在左基板和/或右基板上的电极及电极引线周边设有金属支撑墙。本发明所提供的电容式压力传感器因为具有较高的灵敏度，可以将感测相同压力时所需要的形变量缩小，从而提高了传感器的可靠性和工作寿命，减小了传感器的体积，实现了传感器的小型化。

主权项

一种新型电容式压力传感器制备方法，采用以下步骤进行操作：步骤1，将陶瓷粉或玻璃粉利用模具加压成型，并通过烧结制成基座；其中，所述基座包括两对称设置的半基座，以基座的轴向中心平面为基础，定义基座的左半边为左半基座，基座右半边为右半基座，所述左半基座和右半基座的结构、形状以及尺寸均相同，所述左半基座和右半基座均分为上下两段，其上段为内孔半圆柱结构，其下段为平板结构，在左半基座的平板结构上开设有左压力介质通孔，右半基座的平板结构上开设有右压力介质通孔，在左半基座的内孔半圆柱结构上开设有左加工通孔，右半基座的内孔半圆柱结构上开设有右加工通孔；步骤2，利用两块面积相同的陶瓷板作为敏感片的基板，并且利用薄膜溅射工艺在每个基板上制备贵金属电极及电极引线；其中，所述敏感片两块面积相同的基板分别为左基板和右基板，所述左基板和右基板的内侧面上分别设有电极及电极引线，左基板和右基板上的两个电极为相对电极；步骤3，在所述左基板和/或右基板上的电极及电极引线周边设有金属支撑墙，所述金属支撑墙厚度高于电极及电极引线厚度；步骤4，将左基板和右基板的电极正对装配，并通过热压工艺将两个基板制备成一个完整的敏感片，此时，两个贵金属电极通过金属支撑墙隔开一定的间距；步骤5，将所述基座和敏感片装配到一起，使敏感片的左基板上的电极位置正对左半基座上的左压力介质通孔，同时，使右基板上的电极位置正对右半基座上的右压力介质通孔；步骤6，通过烧结工艺将所述敏感片与基座烧结成一体，形成新型电容式压力传感器。