[发明专利]表面构造测量装置在审
| 申请号： | 201710102550.8 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107121086A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 松宫贞行;上山修一;浅野秀光;酒井裕志;真家洋武;高桥芳彦;新井雅典;本桥研 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 曲莹 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面构造测量装置，该表面构造测量装置包括使具有内壁的可测物体沿XY平面位移的X轴位移机构和Y轴位移机构；以非接触方式测量内壁的表面构造的测量传感器；使测量传感器沿与XY平面正交的Z轴方向位移并使测量传感器面向内壁的Z轴位移机构；使面向内壁的测量传感器沿内壁的法向位移的W轴位移机构；以及使面向内壁的测量传感器沿内壁位移的θ轴位移机构。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 构造 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种表面构造测量装置，包括：配置为使具有内壁的可测物体沿第一平面位移的第一位移器；配置为以非接触方式测量内壁的表面构造的测量传感器；配置为使测量传感器沿与第一平面正交的正交方向位移并使测量传感器位移而面向内壁的第二位移器；配置为使面向内壁的测量传感器沿内壁的法向位移的第三位移器；和配置为使面向内壁的测量传感器沿内壁位移的第四位移器。
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