[发明专利]移载台、贴附装置及其贴附方法在审
申请号: | 201710097138.1 | 申请日: | 2017-02-22 |
公开(公告)号: | CN108459424A | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 郭国明;段晓然;赵长凯;李全悦;李向龙;何峰;邢远祥 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1335 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 焦玉恒 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种移载台、贴附装置及其贴附方法,该移载台包括:用于承载物体的载台;设置在载台上的温度传感器;以及设置在载台上的加热装置。该移载台可解决在基板上进行膜层贴附的过程中产生气泡的问题,并且不用增加额外的脱泡设备,从而可降低成本。 | ||
搜索关键词: | 移载 贴附 贴附装置 温度传感器 加热装置 脱泡设备 基板 膜层 载台 承载 | ||
【主权项】:
1.一种移载台,包括:载台,被配置为承载物体;温度传感器,设置在所述载台上;以及加热装置,设置在所述载台上。
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