[发明专利]移载台、贴附装置及其贴附方法

权利要求书

1.一种移载台，包括：

载台，被配置为承载物体；

温度传感器，设置在所述载台上；以及

加热装置，设置在所述载台上。

2.根据权利要求1所述的移载台，还包括：

温度控制器，与所述温度传感器和所述加热装置分别通信相连并被配置为根据所述温度传感器感测的温度来控制所述加热装置的功率。

3.根据权利要求2所述的移载台，其中，所述温度控制器被配置为控制所述加热装置以使所述载台的温度范围为50-60度。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的移载台，其中，所述加热装置包括多个子加热装置，所述多个子加热装置被配置为独立进行加热。

5.根据权利要求4所述的移载台，其中，所述多个子加热装置在所述载台上分区设置。

6.根据权利要求5所述的移载台，其中，所述多个子加热装置在所述载台上嵌套设置。

7.根据权利要求6所述的移载台，其中，所述载台的形状包括矩形，各所述多个子加热装置的形状为L形并沿所述矩形的对角线方向嵌套设置。

8.根据权利要求7所述的移载台，其中，所述载台包括多个L型沟槽，所述多个子加热装置设置在所述多个L型沟槽内。

9.根据权利要求6所述的移载台，其中，所述温度传感器包括多个子温度传感器，所述多个子温度传感器被配置为独立进行温度检测。

10.根据权利要求9所述的移载台，其中，所述多个子温度传感器与所述多个子加热装置一一对应设置。

11.根据权利要求6所述的移载台，其中，所述加热装置包括电热丝以及设置在所述电热丝外围的导热绝缘层，所述电热丝的材料包括镍铬合金，所述导热绝缘层的材料包括柔性云母板。

12.根据权利要求1-3中任一项所述的移载台，还包括：

吸附装置，设置在所述载台上并被配置为固定所述承载物体。

13.根据权利要求1-3中任一项所述的移载台，还包括：

驱动机构，与所述载台相对固定设置并被配置为驱动所述载台移动。

14.一种贴附装置，包括：

第一移载台；

第二移载台，被配置为搭载贴附材料；以及

移动机构，被配置为移动所述第一移载台和所述第二移载台至少之一以使所述第一移载台和所述第二移载台彼此相对运动，

其中，所述第一移载台包括根据权利要求1-12中任一项所述的移载台，所述物体为待贴附物体。

15.根据权利要求14所述的贴附装置，其中，所述第二移载台包括根据权利要求1-12中任一项所述的移载台。

16.根据权利要求14或15所述的贴附装置，其中，所述待贴附物体包括显示基板，所述贴附材料包括偏光片。

17.一种贴附装置的贴附方法，其中，所述贴附装置包括第一移载台、第二移载台以及移动机构，所述第一移载台包括根据权利要求1-4中任一项所述的移载台，所述物体包括待贴附物体，所述第二移载台被配置为搭载贴附材料，所述移动机构被配置为移动所述第一移载台和所述第二移载台至少之一以使所述第一移载台和所述第二移载台彼此靠近，所述贴附方法包括：

使用所述加热装置和所述温度传感器加热所述待贴附物体并控制所述待贴附物体的温度；以及

使用所述移动机构移动所述第一移载台和所述第二移载台至少之一以使所述第一移载台和所述第二移载台彼此靠近以将所述贴附材料贴附在所述待贴附物体上。