[发明专利]一种蓝宝石泡生法长晶加热功率控制装置在审
| 申请号： | 201710081180.4 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN106591940A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘伯彥;王晓靁 | 申请（专利权）人： | 厦门润晶光电集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司35203 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蓝宝石泡生法长晶加热功率控制装置，由计算机、晶体重量量测设备、功率量测监控仪、系统变压器、长晶炉SCR、二次侧负载端加热器、PPi及ST2组成，供电端依次连接系统变压器、长晶炉SCR与二次侧负载端加热器，用于量测和回馈加热器功率数值的功率量测监控仪连接在二次侧负载端加热器和计算机之间，用于量测和回馈加热器电压数值的PPi连接在二次侧负载端加热器和计算机之间，晶体重量量测设备也与计算机连接，计算机依次通过PPi和ST2与长晶炉SCR连接。本发明增加一组二次侧负载端加热器的功率量测监控仪，用于量测并回馈功率值到计算机，去防止用电功率的不稳定性，使功率控制稳定，提高晶体成品率及良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 泡生法长晶 加热 功率 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石泡生法长晶加热功率控制装置，其特征在于：由计算机、晶体重量量测设备、功率量测监控仪、系统变压器、长晶炉SCR、二次侧负载端加热器、PPi及ST2组成；供电端依次连接系统变压器、长晶炉SCR与二次侧负载端加热器并供电；用于量测和回馈加热器功率数值的功率量测监控仪连接在二次侧负载端加热器和计算机之间；用于量测和回馈加热器电压数值的PPi连接在二次侧负载端加热器和计算机之间；晶体重量量测设备也与计算机连接；计算机依次通过PPi和ST2与长晶炉SCR连接，并控制长晶炉SCR的开度、电压的大小及生长功率。
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