[发明专利]基板保持状态异常的检查区域自动决定方法及处理装置

摘要

检查基板保持状态异常区域自动决定方法，通过检测基板保持部的旋转开始前后的图像中的浓度变化，在检查基板的保持状态的异常时自动地决定图像中特别重视的检查区域，可减轻工作负担。对于基板保持部的图像中位于被基板保持部适当地保持时的基板的上方的、用于检查基板的保持状态的异常的检查区域，确定被基板保持部正常地保持的状态下的基板的上端面，根据确定的基板的上端面的位置来决定检查区域的上下方向的位置，对决定了上下方向的位置的候选检查区域，求出基板保持部的旋转开始时的浓度，并求出与基板保持部的初始状态下的同一区域的浓度之间的差分绝对值的积分值、即差分图像积分值，根据求出的差分图像积分值来决定检查区域的水平位置。

主权项

一种检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法，其用于基板处理装置，其特征在于，所述基板处理装置具备：基板保持部，其使基板在保持为大致水平姿态的状态下旋转；处理控制部，其在所述基板保持部旋转的状态下对所述基板施加规定的处理；以及异常检查部，其对被所述基板保持部保持的所述基板的保持状态的异常进行检查，所述异常检查部具有：拍摄装置，其从水平方向拍摄被所述基板保持部保持的所述基板而获得第1图像；截取装置，其从所述第1图像截取第2图像，所述第2图像与位于被所述基板保持部适当地保持时的所述基板上方的检查区域对应；以及判定装置，其对所述第2图像求出表示被所述基板保持部保持的所述基板的保持状态的特征量，根据该特征量判定所述保持状态的异常，其中，所述检查基板保持状态异常的检查区域自动决定方法具有：上端面确定工序，确定所述第1图像中被所述基板保持部正常地保持的状态下的所述基板的上端面；垂直位置决定工序，根据由所述上端面确定工序确定的所述第1图像中的所述基板的上端面的位置，决定所述检查区域的上下方向的位置；以及水平位置决定工序，对决定了所述上下方向的位置的候选所述检查区域，求出所述基板保持部的旋转开始时的浓度，并求出与所述基板保持部的初始状态下的同一区域的浓度之间的差分绝对值的积分值、即差分图像积分值，根据求出的差分图像积分值来决定所述检查区域的水平位置。