[发明专利]一种新型微流量气体质量流量控制器

摘要

一种新型微流量气体质量流量控制器，包括进口盖、密封圈1、紧固件、弹簧、阀芯、套筒、钢球、密封圈2、顶杆和锁紧螺母。通过套筒与阀芯之间形成的4μm～10μm径向间隙构成节流环缝，当气态工质由进气口进入控制器后，通过该节流环缝实现微流量控制，实现特定压力下20μg/s～2mg/s微小流量的精确输出。本发明采用阀芯与阀套为孔轴配合，通过环缝实现节流控制，加工工艺简单，可靠性高，抗污染能力强。利用调节装置调节阀芯位置，调节范围大，能精确调节特定压力下控制器的流量输出。通过调节进口压力，流量输出范围变化大，流量控制范围可达100倍以上，可适用于系统多模式工作状态以及需要工质流量连续可变的场合。

主权项

1.一种新型微流量气体质量流量控制器，其特征在于：包括进口盖(1)、密封圈1(2)、紧固件(3)、弹簧(4)、阀芯(5)、套筒(6)、钢球(7)、密封圈2(8)、顶杆(9)和锁紧螺母(10)；/n套筒(6)与进口盖(1)连接的端面设有放置密封圈1(2)的槽，进口盖(1)与套筒(6)通过紧固件(3)将密封圈1(2)压紧；阀芯(5)的一端设有凸肩，将弹簧(4)压紧在进口盖(1)上，使弹簧(4)处于预压缩状态，阀芯(5)外壁与套筒(6)内孔形成一个环形缝，对气态工质的流量进行调节；顶杆(9)将钢球(7)压紧在阀芯(5)的另一端上，套筒(6)与锁紧螺母(10)螺纹配合，通过旋转锁紧螺母(10)能够带动顶杆(9)向套筒(6)内或套筒(6)外移动；/n进口盖(1)设有中空腔体作为进气通道，进气通道与套筒(6)内部连通；顶杆(9)的一端在套筒(6)内，另一端在套筒(6)外，在套筒(6)内的顶杆(9)一端设置有两道放置密封圈2(8)的环形密封槽，密封圈2(8)为两个，分别置于两道放置密封圈2(8)的环形密封槽内；/n气态工质从进口盖(1)中流入，经过弹簧(4)、阀芯(5)与套筒(6)之间的径向间隙，再通过环形缝，到达顶杆(9)前端；从顶杆(9)前端的径向孔进入顶杆(9)的中心孔，最后从顶杆(9)的出气口流出；密封圈1(2)与密封圈2(8)的密封作用，使整个装置无泄漏。/n