[发明专利]L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法有效
| 申请号： | 201710034772.0 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106829852B | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 李晖;陈静;张南南;王磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所44237 | 代理人： | 李嘉卉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法。该L型静电驱动微型机器人的制造方法包括以下步骤步骤S10制备牺牲层；步骤S20制造处理第一光刻胶层；步骤S30制造处理第二光刻胶层；步骤S40对第一光刻胶层、第二光刻胶层的曝光区域进行显影，除去第一光刻胶层和第二光刻胶层的未曝光区域，从而形成L型结构；步骤S50对远离牺牲层的L型结构的表面溅射沉积导电金属层，并除去牺牲层。应用该L型静电驱动微型机器人的制造方法所制造的微型机器人解决了现有技术中微型机器人无法同时满足微型化、驱动力大、频率响应高、供能方便简单、耗能小、且控制精确的要求的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 微型 机器人 制造 方法 控制 | ||
【主权项】：
L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S10：制备牺牲层；步骤S20：在牺牲层上涂镀第一光刻胶层，利用第一掩模对准器并通过紫外光对第一光刻胶层进行图形化曝光光刻处理；步骤S30：在第一光刻胶层上涂镀第二光刻胶层，利用第二掩模对准器并通过紫外光对第二光刻胶层进行图形化曝光光刻处理；步骤S40：对第一光刻胶层、第二光刻胶层的曝光区域进行显影，并采用化学方法除去第一光刻胶层的未曝光区域和第二光刻胶层的未曝光区域，使得剩余的第一光刻胶层和第二光刻胶层共同形成L型结构；步骤S50：对远离牺牲层的L型结构的表面溅射沉积导电金属层，并除去牺牲层。
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