[发明专利]整体点阵反射加权的声表面波谐振器有效
| 申请号： | 201710012685.5 | 申请日： | 2017-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN106788321B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 游瑞煌 | 申请（专利权）人： | 广东斐瑞智能技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 佛山市广盈专利商标事务所(普通合伙) 44339 | 代理人： | 杨乐兵 |
| 地址： | 528300 广东省佛山市顺德区大良*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种整体点阵反射加权的声表面波谐振器，包括压电基片，在所述压电基片上溅射金属叉指换能器和反射栅，所述反射栅包括分别设置在金属叉指换能器左右两侧的第一短路栅和第二短路栅，所述第一短路栅和第二短路栅在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布，在所述金属叉指换能器的假指与相邻电极之间、第一短路栅的相邻栅条之间和第二短路栅的相邻栅条之间分别设置金属点阵。本发明的有益效果是在金属叉指换能器的假指以及第一短路栅和第二短路栅上设置金属加权点阵,可降低由于金属叉指换能器和反射栅反射引起的旁峰干扰，提高SAW谐振器的频率响应性能。 | ||
| 搜索关键词： | 整体 点阵 反射 加权 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
一种整体点阵反射加权的声表面波谐振器，其特征在于：包括压电基片，在所述压电基片上溅射金属叉指换能器和反射栅，所述反射栅包括分别设置在金属叉指换能器左右两侧的第一短路栅和第二短路栅，所述第一短路栅和第二短路栅在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布，在所述金属叉指换能器的假指与相邻电极之间、第一短路栅的相邻栅条之间和第二短路栅的相邻栅条之间分别设置金属点阵。
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