[发明专利]一种基于字符投影电子束光刻技术的字符盘优化设计方法

摘要

本发明属于集成电路可制造性设计中电子束光刻技术领域，具体涉及字符投影的电子束光刻中，利用光刻字符间隙可交叠的性质，通过优化放置在字符盘上光刻字符的位置和数量，最终减少芯片制造所需的总曝光次数，提升电子束光刻的吞吐率。本发明的关键在于提出一个考虑字符空白交叠面积和字符使用频次/复杂度的综合指标f/A；并提出了一种准确、有效的估算字符实际占用面积的方法；通过修改2‑D装箱算法，最终实现字符盘的优化设计。实验结果表明，本发明提出的方法明显优于目前国际上已知的最好方法。

主权项

1.一种基于字符投影光刻技术的高效字符盘优化设计方法；其特征是，采用一个考虑字符空白交叠面积和字符使用频次/复杂度的综合指标f/A，并利用一种准确估算字符实际占用面积的方法，通过修改2‑D装箱算法实现字符盘的优化设计，其包括：输入参数：1、一个空的字符盘，其高度为H，宽度为W；2、字符集合，其中包含每个字符的几何信息，即高度h，宽度w，上、下、左、右空白部分宽度分别为t、b、l、r；字符在芯片版图中出现的频次数T；字符中包含的矩形个数vsb；输出结果：放入字符盘中的字符集合，以及每个字符的位置坐标；按下述步骤：步骤1：基于2‑D装箱算法建立Skyline用以保存字符盘的当前填充状态，并从Skyline中选取一个高度最低的线段作为待放入字符的候选位置，然后从待填充的字符集中筛选出候选字符集；步骤2：判断流程是否结束；若步骤1得到的候选字符集为空集，则转至步骤3；若候选字符集为空，则试图更新Skyline；若成功更新Skyline，则转步骤1；否则，无法进一步填充字符，流程结束。步骤3:依据步骤1得到的候选位置，逐一计算候选字符集中每个候选字符的综合指标f/A；步骤4：从候选字符集中选取综合指标f/A最大的字符，将其放入字符盘中并记录该字符和放入的位置，更新Skyline，然后转至步骤1。