[发明专利]一种研磨设备及研磨方法

摘要

本发明提供了一种研磨设备及研磨方法，所述研磨设备包括：研磨带；研磨部，包括研磨头及连接于研磨头上的研磨设备盒；移动单元，用于移动研磨头；获取单元，能够随研磨部移动，实时获取研磨头当前所在位置处预定区域内的待研磨基板的异物信息，异物信息包括异物的位置信息；测量单元，用于测量研磨部当前所在位置处的异物高度；及控制单元，用于根据获取单元所获取的异物信息，控制移动单元将研磨头移动至与异物对应的位置处，并当研磨头处于与异物对应的位置时，根据测量单元所测量得到的异物高度，控制移动单元将研磨头升降预设高度，以研磨异物。本发明所提供的研磨设备，能够大大缩短研磨时间，提升研磨效率。

主权项

一种研磨设备，其特征在于，包括：研磨带；研磨部，包括用于将所述研磨带按压于待研磨基板上的研磨头及连接于所述研磨头上的研磨设备盒；移动单元，与所述研磨部连接，用于移动所述研磨头；获取单元，与所述研磨部连接，能够随所述研磨部移动，实时获取所述研磨头当前所在位置处预定区域内的待研磨基板的异物信息，所述异物信息包括异物的位置信息；测量单元，设置在所述研磨部上，用于测量所述研磨部当前所在位置处的异物高度；及，控制单元，用于根据所述获取单元所获取的异物信息，控制所述移动单元将所述研磨头移动至与异物对应的位置处，并当所述研磨头处于与异物对应的位置时，根据测量单元所测量得到的异物高度，控制所述移动单元将所述研磨头升降预设高度，以研磨异物。