[发明专利]宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅在审
| 申请号： | 201710000720.1 | 申请日： | 2017-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN106772734A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 晋云霞;陈俊明;邵建达;孔钒宇;黄昊鹏;陈鹏;王磊磊;李林欣;徐姣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅，其特点在于由顶部光栅脊结构、中间高反射率薄膜层和底部基底构成光栅结构，其中顶部光栅脊结构为非对称形貌，所述的非对称形貌为四边形的底角α和β不相等。本发明的非对称形貌反射型光栅在入射角度为‑1级利特罗角时，在80纳米带宽范围内可获得‑1级衍射效率高于95％，波段内最高衍射效率超过99％，且在较宽角谱内具有高于95％的‑1级衍射效率，实现在较宽的带宽和较宽的入射角范围内工作。本发明性能优越，结构简单，可大批量生产，在高功率激光领域具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 宽带 衍射 效率 对称 形貌 反射 光栅 | ||
【主权项】：
一种宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅，其特征在于由上至下由顶部的周期性的光栅脊结构(3)、中间的高反射率薄膜层(7)和底部的基底构成；所述的顶部光栅脊结构为非对称形貌；所述的非对称形貌为四边形的两底角α和β不相等。
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