[发明专利]用于氢化四氯化硅的方法有效
| 申请号： | 201680090829.2 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109963645B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 马丁·策特尔;安德烈亚斯·希尔施曼;乌韦·佩措尔德;罗伯特·林 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | B01J12/00 | 分类号： | B01J12/00;B01J19/02;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 殷爽 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于在反应器中氢化四氯化硅的方法，其中通过包括石墨表面的至少一个加热元件将含有氢气和四氯化硅的反应气加热至850℃和1600℃之间的温度，其中加热元件的温度在850℃和1600℃之间。该方法的特征在于以基于氢气的0.1至10％的物质量部分将氮化合物加入至反应气。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氢化 氯化 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在反应器中氢化四氯化硅的方法，其中通过包含石墨表面的至少一个加热元件将含有氢气和四氯化硅的进料气体加热至850℃至1600℃的范围内的温度，所述加热元件的温度处于850℃至1600℃的范围内，所述方法的特征在于以基于氢气的0.1至10％的摩尔比将氮化合物添加到所述进料气体中。
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