[发明专利]用于检查的方法和设备有效
| 申请号： | 201680082561.8 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN108701576B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | B·卡斯川普;J·C·H·缪尔肯斯;M·A·范登布林克;约瑟夫·帕卓斯·亨瑞克瑞·本叔普;E·P·斯马克曼;T·朱兹海妮娜;C·A·维索尔伦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/065 | 分类号： | H01J37/065;H01J37/15 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 闫红 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电子束检查设备，该设备包括：多个电子束柱(600)，每个电子束柱配置成提供电子束且检测来自物体的散射电子或二次电子；和致动器系统(600，610)，其配置成使所述电子束柱中的一个或更多个相对于所述电子束柱中的另外的一个或更多个移动(640，630)。所述致动器系统可包括多个第一可移动结构，所述多个第一可移动结构与多个第二可移动结构至少部分地重叠，所述第一可移动结构和所述第二可移动结构支撑所述多个电子束柱。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种电子束检查设备，包括：多个电子束柱，每个电子束柱配置成提供电子束且检测来自物体的散射电子或二次电子，每个电子束柱布置成检查与所述电子束柱相关联的不同的各自的场或管芯的区域；和致动器系统，配置成使所述电子束柱中的一个或更多个相对于所述电子束柱中的另外的一个或更多个移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680082561.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
