[发明专利]氖气回收/净化系统和氖气回收/净化方法

摘要

披露了一种氖气回收/净化系统，该氖气回收/净化系统包括：回收器皿，该回收器皿被安排在排放气体路径上并且储存排放气体，该排放气体路径从排放管线分支并延伸；将从该回收器皿送出的排放气体的压力升高至第三压力的压缩机；调节已经被该压缩机升高压力的排放气体的流量的排放气体流量调节单元；从该排放气体中去除第一杂质的第一杂质去除单元；从已经被去除了该第一杂质的排放气体中去除第二杂质的第二杂质去除单元；储存已经被该第一杂质去除单元和该第二杂质去除单元处理过的经净化气体的升压器皿；将从该升压器皿送出的经净化气体的压力减小至该第一压力的减压阀；以及调节被供应至制造系统的供应管线的经净化气体的流量的经净化气体流量调节单元。

主权项

1.一种用于从制造系统所排出的排放气体中回收并净化氖气的氖气回收/净化系统，该制造系统包括：供应管线，该供应管线供应处于第一压力的至少含有氖气与第一惰性气体的混合惰性气体；使用该混合惰性气体的激光设备；以及排放管线，该排放管线至少排出从该激光设备排出的处于第二压力的排放气体，该第二压力等于或大于大气压、并且等于或小于该第一压力，该氖气回收/净化系统包括：‑回收器皿，该回收器皿被安排在排放气体路径上并且储存该排放气体，该排放气体路径从该排放管线分支并延伸；‑压缩机，该压缩机被安排在该回收器皿的排放气体路径下游侧、并且将从该回收器皿送出的排放气体的压力升高至第三压力；‑排放气体流量调节单元，该排放气体流量调节单元被安排在该压缩机的排放气体路径下游侧、并且调节被送到该排放气体路径下游侧且已经被该压缩机升高压力的排放气体的流量；‑第一杂质去除单元，该第一杂质去除单元被安排在该排放气体流量调节单元的排放气体路径下游侧、并且从该排放气体中去除第一杂质；‑第二杂质去除单元，该第二杂质去除单元被安排在该第一杂质去除单元的排放气体路径下游侧、并且从已经被去除了该第一杂质的排放气体中去除第二杂质；‑升压器皿，该升压器皿被安排在该第二杂质去除单元的经净化气体路径下游侧、并且储存已经被该第一杂质去除单元和该第二杂质去除单元处理过的经净化气体；‑减压装置，该减压装置被安排在该升压器皿的经净化气体路径下游侧、并且将从该升压器皿送出的经净化气体的压力减小至该第一压力；以及‑经净化气体流量调节单元，该经净化气体流量调节单元被安排在该减压装置的经净化气体路径下游侧、并且调节被供应至该制造系统的该供应管线的经净化气体的流量。